什么是滾針電動(dòng)?

滾針電動(dòng)缸是一種直線運(yùn)動(dòng)電動(dòng)缸，

采用艾塞路獨(dú)創(chuàng)的滾針式導(dǎo)柱

“精密滾針導(dǎo)柱”。精密滾針導(dǎo)柱

采用滾針作為滾動(dòng)體，實(shí)現(xiàn)了高精

度的直線性。因此，滾針電動(dòng)缸是

一種具有3個(gè)“1μm”的高精度、

高剛性直線運(yùn)動(dòng)電動(dòng)缸。

用途：

反射鏡和透鏡微調(diào)

步進(jìn)曝光機(jī)等各種光學(xué)設(shè)備的透鏡和反射鏡 移動(dòng)、微小角度調(diào)整

對(duì)準(zhǔn)臺(tái)X?Y?θ軸調(diào)整

Z 軸平臺(tái)定位

試驗(yàn)裝置

感應(yīng)器調(diào)整

Z 軸平臺(tái)定位

采用高剛性、高精度滾針式直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)柱“精密滾針導(dǎo)柱”